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光學微電子凈化工程一般包括

來源:發表時間2018-2-6 17:17:47

光學微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產區
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息)
4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)


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